“Prima Linie Pilot Europeană pentru Carbura de Siliciu (SiC) de 200mm dedicată electronicii dispozitivelor de putere – REACTION”, contract de finanţare nr. 4/1.1.3H/24.04.2019, cod SMIS 2014+: 121169

Universitatea POLITEHNICA din București, cu sediul în Splaiul Independenţei nr. 313, sector 6, București a derulat în perioada 24.04.2019 — 30.04.2023, proiectul “Prima Linie Pilot Europeană pentru Carbura de Siliciu (SiC) de 200mm dedicată electronicii dispozitivelor de putere – REACTION”, contract de finanţare nr.4/1.1.3H/24.04.2019, cod SMIS 2014+: 121169, cofinanţat prin Fondul European de Dezvoltare Regională prin Programul Operaţional Competitivitate (POC 2014-2020), Axa prioritară 1: Cercetare, dezvoltare tehnologică și inovare (CDI) în sprijinul competitivităţii economice și dezvoltării afacerilor, Prioritate de investiţie: Pl1a Consolidarea cercetării și inovării (C&1), a infrastructurii și a capacităților de dezvoltare a excelenţei în domeniulC&l|, precum și promovarea centrelor de competenţă, în special a celor de interes european, Acţiunea: 1.1.3 Crearea de sinergii cu acţiunile de CDI ale programului-cadru ORIZONT 2020 al Uniunii Europene şi alte programe CDI internaţionale.

Obiectivul general al proiectului l-a reprezentat realizarea primei Facilități Mondiale de tip Linie Pilot pentru Carbura de Siliciu (SiC) de 200mm dedicată tehnologiei de Putere.

Obiectivele specifice ale proiectului au fost:

1. Dezvoltarea materialelor și echipamentelor – a avut ca scop dezvoltarea materialelor și echipamentelor specifice pentru procesarea SiC care nu exista pentru wafer cu dimensiunea de 8 inch;

2. Dezvoltarea substratului — a avut ca scop dezvoltarea materialului substratului de bază pentru a asigura calitatea dorită și pentru a preveni defectarea waferului pe durata tratamentelor termice succesive și a șlefuirii finale;

3. Dezvoltarea procesului SiC epitaxial — ce a avut ca scop procesarea și evaluarea unui proces EPI De 200mm pe un instrument complet automatizat de 200mm;

4. Dezvoltarea echipamentului de tratament termic — a avut ca scop definirea și prelucrarea vehiculului de testare la 150mm și 200mm, precum și de caracterizarea electrică și morfologică completă a substraturilor;

5. Implementare SiC 200mm – a avut ca scop actualizarea procesului de la 150mm pâna la linia de 200mm;

6. Caracterizarea, modelarea și fiabilitatea — a avut ca scop caracterizarea, modelarea și fiabilitatea legate de ambalarea dispozitivelor SiC.

Perioada de implementare a proiectului a fost de 48 luni, respectiv de la data de 24 aprilie 2019 până la data de 30 aprilie 2023.

Valoarea totală a proiectului a fost de 6.003.000,00 lei, din care asistenţa financiară nerambursabilă a fost de 6.000.000,00 lei, din care FEDR 4.800.000,00 lei.

Date de contact:

Nume persoana de contact: Prof. Dr.rer.nat. Marius ENACHESCU

Functia: Director de proiect

Tel.: 0752003044, e-mail: marius.enachescu@cssnt-upb.ro

“Proiect cofinanţat prin Fondul European de Dezvoltare Regională prin Programul Operaţional Competitivitate”