29.09.2023

ANUNT DE FINALIZARE PROIECT

“Tehnologie pentru circuite integrate cu nod electronic de 2 nm – IT2”, contract de finantare nr. 11/1.1.3H/06.07.2020, cod SMIS 2014+: 136697

Universitatea Nationala de Stiinta si Tehnologie Politehnica Bucuresti, cu sediul in Splaiul Independentei nr. 313, sector 6, Bucuresti a derulat in perioada 06.07.2020 – 30.09.2023, proiectul “Tehnologie pentru circuite integrate cu nod electronic de 2 nm – IT2”, contract de finantare nr. 11/1.1.3H/06.07.2020, cod SMIS 2014+: 136697, cofinantat prin Fondul European de Dezvoltare Regionala prin Programul Operational Competitivitate (POC 2014-2020), Axa prioritara 1: Cercetare, dezvoltare tehnologica si inovare (CDI) in sprijinul competitivitatii economice si dezvoltarii afacerilor, Prioritate de investitie: PI1a Consolidarea cercetării și inovării (C&I), a infrastructurii și a capacităților de dezvoltare a excelenței în domeniul C&I, precum și promovarea centrelor de competență, în special a celor de interes european, Actiunea: 1.1.3 Crearea de sinergii cu acţiunile de CDI  ale programului-cadru ORIZONT 2020 al Uniunii Europene şi alte programe CDI internaţionale

Obiectivul general al proiectului a fost explorarea, descoperirea, dezvoltarea si demonstrarea optiunilor tehnologice necesare pentru realizarea tehnologiei logice CMOS de 2nm.

Obiectivele specifice ale proiectului au fost:
1 Dezvoltarea sistemelor de metrologie 3D si analitice pentru caracterizarea si controlul etapelor procesului nodului de 2nm, modulelor de proces si arhitecturilor dispozitivelor;
2 Dezvoltarea si evaluarea de noi metode pentru a raspunde nevoilor specifice de metrologie pentru co-optimizare tehnologica a sistemelor (STCO) prin metrologia siliciu, controlul alinierii si controlul procesului de bonding al plachetelor hibride;
3 Dezvoltarea instrumentelor optice critice (OCD) de generaþie viitoare (cu inovaþie la nivel de HW, SW si Algoritm) pentru a aborda dispozitivele logice 2nm si provocarile dispozitivelor de memorie 3D;
4 Spectroscopie photo-termica in infrarosu (PT-IR) amplificata de un vârf special sau PTIR-AFM, pentru identificarea chimica;
5 Microscopie analitica TEM STEM-EELS/EDX pentru imagistica 3D sub-nanometrica si analize chimice rapide;

Perioada de implementare a proiectului a fost de 38 luni si 25 zile, respectiv de la data de 06 iulie 2020 pana la data de 30 septembrie 2023.

Valoarea totala a proiectului a fost de 6.003.000,00 lei, din care asistenta financiara nerambursabila a fost de 6.000.000,00 lei, din careFEDR 4.800.000,00 lei.

Date de contact:

Nume persoana contact: ENACHESCU Marian

Functia: Director de proiect

Tel./Fax: 0752003044, e-mail: marius.enachescu@cssnt-upb.ro,

“Proiect cofinantat prin Fondul European de Dezvoltare Regional prin Programul Operational Competitivitate”