Etapa 3 – 14AMI

În etapa finală de implementare (Etapa III – 2026), POLITEHNICA București (UPB) a finalizat cu succes toate activitățile prevăzute în planul de lucru, atingând integral obiectivele proiectului.

Activitatea 2.1:

A fost finalizată, testată și validată procedura completă de extragere a lamelelor prin SEM-FIB pentru analiza co-localizată SEM-TEM-ZC-EDX, aplicată pe o gamă diversificată de probe (metalice, semiconductoare și heterostructuri multistrat). Au fost optimizate etapele de depunere a stratului protector, geometria de tăiere, manipularea cu acul de extracție și subțierea finală cu ioni de Ga și Ar (până la grosimi sub 30 nm). Lamelele obținute au fost caracterizate morfologic și compozițional prin TEM-SEM-ZC-EDX, permițând determinarea grosimilor straturilor, a dimensiunii critice (CD) și a distribuției elementelor (inclusiv Ge) prin profile liniare și hărți EDX.

Activitatea 2.2:

UPB a definit și implementat la nivel de laborator o metodologie inovatoare de metrologie hibridă (combinând metode SPM și cu fascicul de electroni) pentru localizarea și investigarea defectelor la scară nanometrică pe tehnologia 14A, cu timp de ciclu redus. Lamelele TEM de înaltă puritate, plasate pe substraturi de Si, au fost localizate prin corelarea microscopiei optice integrate în AFM cu imaginile SEM, iar structura lor stratificată a fost validată prin scanare pe linie și cartografiere EDX, urmată de investigarea zonei de interes prin tehnica AFM-IR.

Activitatea 2.3:

A fost stabilită și aplicată pe probe din laboratorul propriu UPB procedura de lucru pentru caracterizarea sistematică a polimerilor similari rezistului EUV utilizând sistemul AFM-IR, demonstrând capacitatea de analiză chimică și structurală complexă (exemplificată prin maparea benzilor caracteristice pentru PS și PMMA).

Activitatea 2.4:

În această etapă finală, fluxul de lucru optimizat pentru determinările analitice ale grosimii și unghiului peretelui lateral a fost definitivat și validat integral. Au fost stabiliți parametrii optimi de subțiere finală pentru fiecare tip de material, s-a confirmat stabilitatea mecanică a lamelelor pe gridurile TEM și s-a implementat procedura standardizată de măsurare (TEM, ZC, EDX), aplicată cu succes pe probele experimentale prioritare pentru a garanta un nivel ridicat de acuratețe și reproductibilitate.

Activitatea 2.5:

UPB a realizat livrabilul „D3.3.3.2 Raport tehnic privind primul set de probe investigate utilizând noua metodologie de metrologie hibridă” utilizând cupoane furnizate de Thermo Fisher din plachete asigurate de imec. A fost stabilit un flux de lucru secvențial, nedistructiv, care combină STEM/EDX de înaltă rezoluție și AFM-IR pe aceeași lamelă CFET pregătită prin FIB, reușind detectarea reziduurilor de colț și a defectelor interne (rezoluție sub 10 nm prin AFM-IR pe probe sub 100 nm) și contribuind la obținerea unui raport precizie-toleranță între 0,1 și 0,3 pentru nodul tehnologic de 14 Å. Totodată, printr-o strategie de scanare în trepte (de la pilonul de susținere către zona de interes), a fost demonstrată fezabilitatea caracterizării prin AFM/AFM-IR a lamelelor TEM transparente la electroni.

Activitatea 2.6:

Diseminarea rezultatelor cercetării s-a realizat prin participarea la conferințe științifice internaționale, respectiv prin prezentarea orală „Multifunctional Collagen-based Nanocomposites Reinforced with Essential Oil-Loaded MWCNTs for Biomedical Applications” (PRODANA Mariana, Daniela Ioniță, Cristina Badea, Geanina Mihai, Teodor Jianu, Marius Enăchescu), susținută în cadrul 24th Romanian International Conference on Chemistry and Chemical Engineering, Poiana Brașov, România (1–4 septembrie 2026).

În concluzie, POLITEHNICA București și-a atins integral obiectivele stabilite în toate activitățile propuse în cadrul Etapei III, validând protocoalele și metodologiile de metrologie hibridă dezvoltate pe parcursul proiectului.