COMUNICAT ÎNCEPUT PROIECT
 
Tehnologie CMOS de 14 Angstrom acronim 14ACMOS,
contract de finantare nr. G 2025-54059/390013/12.05.2025, cod SMIS2021: 338315
 
Universitatea Națională de Știință și Tehnologie POLITEHNICA București, cu sediul în Splaiul Independenței nr. 313, sector 6, București derulează în perioada 12.05.2025 – 11.05.2026, proiectul Tehnologie CMOS de 14 Angstrom acronim 14ACMOS, contract de finantare nr. G 2025-54059/390013/12.05.2025, cod SMIS2021: 338315, cofinanțat de Uniunea Europeană prin Programul Creștere Inteligentă, Digitalizare și Instrumente Financiare (POCIDIF 2021-2027), Prioritatea 1. Susținerea și promovarea unui sistem de CDI atractiv și competitiv în România, Obiectiv Specific: OS a(i) Dezvoltarea și îmbunătățirea capacităților de cercetare și inovare și adoptarea de tehnologii avansate, Acțiunea 1.3: Integrarea ecosistemului național CDI în Spațiul de Cercetare European și internațional, Măsura 1.3.1 Finanțarea proiectelor care vizează sinergii cu acțiunile HE și alte programe europene, Apel de proiecte: Finanțarea proiectelor care vizează sinergii cu acțiunile Orizont Europa și alte programe europene.
 

Obiectivul general al proiectului 14ACMOS este de a explora și realiza soluții pentru tehnologia de fabricare a cipurilor CMOS de 14 Angstrom, abordând: Litografie, Metrologie, Infrastructură de măști și tehnologie de proces.

Obiectivele specifice ale proiectului sunt:
1 Dezvoltarea unor tehnici de metrologie noi și rafinate pentru evaluarea degradării reticulelor (măștilor) utilizate în procesele de expunere EUV (lumină ultravioletă cu lungime de undă extrem de mică);
2 Crearea cunoștințelor și a tehnologiilor de proces pentru îndepărtarea particulelor prezente pe suprafața măștilor EUV;
3 Studierea impactului expunerii la EUV și al condițiilor de plasmă H₂ asupra probelor/măștilor reparate și remediate;

Perioada de implementare a proiectului este de 12 luni, respectiv de la data de 12 mai 2025 până la data de 11 mai 2026.

Valoarea totală a proiectului este de 8.807.641,50 lei, din care asistența financiară nerambursabilă este de 8.807.641,50 lei, din care FEDR 3.523.056,60 lei.
Date de contact:
Nume persoană contact: ENĂCHESCU Marian
Funcție: Director de proiect
Tel./Fax: 0752003044, e-mail: marius.enachescu@cssnt-upb.ro
 
“Proiect cofinanțat de Uniunea Europeană”