In timpul acestei perioade de implementare, POLITEHNICA Bucuresti a continuat cu succes toate activitatile prevazute, reusind astfel sa realizeze obiectivele aferente acestora.

Astfel, in cadrul activității 2.1., în această etapa, au fost realizate numeroase încercări de extracție a lamelor utilizând tehnologia FIB, aplicate atât pe probe simple, cât și pe probe multistratificate. S-a urmărit identificarea celei mai eficiente strategii de tăiere, adaptată la compoziția și grosimea fiecărui strat. Rezultatele au evidențiat comportamente diferite sub fasciculul de ioni, ceea ce a condus la ajustări sistematice ale designului de decupare, depunerilor protectoare și parametrilor de operare.

În încercările reușite, lamelele au fost analizate prin TEM, SEM, ZC și EDX pentru verificarea grosimilor, uniformității straturilor și compoziției elementale. Au fost optimizate atât etapele de manipulare a lamelei cu acul de extracție, cât și procedurile de lipire, transfer și subțiere finală cu ioni de Ga și Ar

In cadrul activitatii 2.2, procesul de localizare a lamelor și zonelor de interes a fost rafinat prin utilizarea reperelor vizuale și prin inspecții succesive în SEM și AFM. În plus, AFM-IR a fost utilizat pentru identificarea interfețelor și înregistrarea spectrelor IR în regiuni critice precum zonele de interfaţă. Această combinație de tehnici a permis validarea co-localizată a structurilor măsurate și o mai bună înțelegere a variațiilor locale în compoziție și răspuns spectral

Activitatea 2.3 a avut ca obiectiv testarea procedurii de lucru pe polimeri (similari rezistului) pentru sistemul AFM. Acest obiectiv a fost realizat folosind probe din propriul laborator.

În cadrul activităţii 2.4, pe măsură ce experiența s-a acumulat, procedurile FIB-TEM au fost aplicate pe o gamă mai largă de materiale: metale, semiconductori și heterostructuri complexe. S-au identificat diferențe importante în comportamentul sub fascicul, ceea ce a permis optimizarea finală a parametrilor de tăiere, subțiere și depunere. Rezultatele obținute au contribuit la un protocol stabil, reproductibil și adaptabil la o varietate de sisteme.

Pentru activitatea 2.5, a fost inițiată definirea și testarea unei metode integrate de caracterizare hibridă a măștilor, utilizând SPM, FIB-SEM-EDX și SEM-TEM-ZC-EDX. Au fost realizate inspecții SEM pe măști pentru optimizarea parametrilor fasciculului, astfel încât impactul acestuia asupra suprafeței să fie minim.

Activitățile au demonstrat potențialul ridicat al combinării tehnicilor de topografie, compoziție și microstructură într-o singură secvență co-localizată de analiză, asigurând o imagine completă asupra performanței și variațiilor interne ale măștilor.