14ACMOS

Tehnologie CMOS de 14 Angstrom

Durata: 36 luni

Date de inceput si finalizare: 01.12.2022 – 30.11.2025

Coordonator: ASML NETHERLANDS B.V.

Numar de parteneri: 24

Buget total: € 94 640 401,81

Contributie UE: € 21 859 931,81

Tipul proiectului: European, Chips JU, POCIDIF

Coordonator RO: CSSNT-UNSTPB

Director de Proiect RO: Prof. Dr.rer.nat. Marius ENACHESCU

Email: marius.enachescu@cssnt-upb.ro

Descrierea proiectului

Împingerea limitelelor miniaturizării cipului până la 1,4 nm
Microcipurile evoluează în mod constant pentru a îndeplini cerințele pentru sisteme de calcul mai puternice. Proiectul 14ACMOS, finanțat de UE, își propune să dezvolte soluții pentru nodul tehnologic de proces de 1,4 nm. Activitățile proiectului vizează patru piloni cheie: litografie, metrologie, infrastructură de măști și tehnologia proceselor. Soluțiile de litografie vor fi împinse pentru a îndeplini capacitatea de 1,4 nm, iar fizica plasmatică UV extremă va fi studiată pentru a optimiza transmisia optică și durata de viață. În pilonul de metrologie, vor fi dezvoltate metode avansate pentru a îmbunătăți sensibilitatea și incertitudinea de măsurare și pentru a evalua degradarea reticulului introdusă de lumina UV extremă. Infrastructura măștilor va acoperi dezvoltarea strategiilor de reparare a măștilor bazate pe tehnologia de îndepărtare a particulelor și va evalua durabilitatea. Tehnologia proceselor implică dezvoltarea de soluții de modelare, selecția activă a dispozitivelor și noi tehnologii de interconectare, care sunt potrivite pentru nodul de tehnologie de 1,4 nm.

! UNSTPB participă în activitățile metrologie pentru studiul degradarii mastilor si infrastructura de masti.

Membrii consorțiului 14ACMOS

14ACMOS este un consorțiu de 24 de parteneri din 8 țări, format din start-up-uri, IMM-uri și companii mari din industria microelectronică, precum și organizații de cercetare și universități, precum este UNSTPB.

Mai multe info despre proiect puteți găsi aici: https://cordis.europa.eu/project/id/101096772